泰克Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter? SMU 儀器

2650 系列大功率 SourceMeter SMU 儀器專為高電壓/電流電子產品和功率半導體元件（例如二極管、FET 和 IGBT、高亮度 LED、直流至直流轉換器、電池、太陽能電池及其他高功率材料、組件、模塊和部件）的檢定和測試而設計。 它們提供前所未有的功率、精度、速度、靈活性和易用性，可提高研發、生產測試和可靠性環境中的效率。 有兩種儀器可用，提供高達 3000V 或高達 2000W 的脈沖電流功率。

大功率2651A 型數字源表進一步豐富了2600A 系列產品。該源表專門針對大功率電子器 件的特性分析和測試而優化設計，可幫助用戶在研發、可靠性及生產領域提高生產力，包 括高亮度LED、功率半導體、DC/DC 轉換器、電池，以及其他大功率材料、元件、模塊 和組件的特性分析和測試。

與2600A 系列產品的每個成員一樣，2651A 具有高靈活性、四象限電壓和電流源/負載， 組合了精密電壓和電流表。該源表可作為：

? 半導體特征分析儀
? 電壓或電流波形發生器
? 電壓或電流脈沖發生器
? 精密電源
? 真電流源
? 數字多用表(直流電壓，直流電流，電阻和功率，分辨率達5?位)
? 精密電子負載

2651A 型可輸出或吸入高達±40V 和50A。

主要特性：

? 源或阱：
- 2,000W脈沖功率(±40V，±50A);
- 200W直流功率(±10V@±20A、±20V@±10A、±40V@±5A)
? 方便地連接兩個單元(串聯或并聯)形成±100A 或±80V 解決方案
? 1pA 分辨率，可精密測量極低的漏電流
? 1μs/點(1MHz)，連續18 位A/O 轉換器，精確的瞬態特性分析
? 1%至100%脈沖占空比，適用于脈寬調制(PWM)驅動型器件和特殊驅動類型期間的激勵
? 組合了精密電壓源、電流源、數字多用表、任意波形發生器、電壓或電流脈沖發生器及測量、電子負載及觸發控制器——多功能一體的儀器
? 包括TSP?Express 特性分析軟件、LabVIEW?驅動，以及吉時利的Test Script Builder(測試腳本編輯器)軟件開關環境。

典型應用：

? 功率半導體、HBLED 和光器件特性分析和測試
? GaN、SIC 及其他復合材料和
器件的特性分析
? 半導體結溫度特性分析
? 高速、高精度數字化
? 電遷移研究
? 大電流、大功率器件測試

兩種測量模式：數字化或積分

2651A 型有兩種測量模式可對瞬態和穩態行為進行精密地特性分析，包括快速變化的熱 效應。每種模式均由其獨立的模/數(A/D)轉換器定義。

在數字化測量模式下，連續進行1μs/點采樣，每秒可捕獲1,000,000 個讀數。其18 位 A/D 轉換器使用戶能夠精密測量瞬態特性。對于更準確的測量，可利用基于22 位A/D 轉 換器的積分測量模式。全部2600A 系列儀器均具有積分測量模式。

每種測量模式下使用兩個A/D 轉換器(一個 用于電流，另一個用于電壓)，可同時運行 用于準確源讀回，不會影響測試效率。

雙數字化A/D 轉換器以高達1μs/點速率進行連 續采樣，同時對電流和電壓波形進行特性分析。

高速脈沖

2651A 型能夠準確輸出和測量短至100μs 的脈沖，將測試期間的自熱效應影響降至 最低。更大的控制靈活性使用戶能夠在 100μs 至DC 范圍內編程脈寬，在1%至 100%范圍內編程占空比。單臺儀器可輸出 高達50A 電流脈沖，兩臺組合可輸出高達 100A 電流脈沖。

擴展能力

利用TSP-Link?，可將多臺2651A 和其 他2600A 系列儀器組合在一起，形成最 多64 路通道的更大集成系統。利用內置 500ns 觸發控制器，確保精密定時和嚴 格通道同步。源表儀器的完全隔離、獨 立通道確保了真正的SMU-per-pin 測試。

吉時利的TSP 和TSP-Link 技術確保實現真 正的SMU-per-pin 測試，不存在基于主機系 統的功率和/或通道限制。

此外，兩臺2651A 型采用TSP-Link 并 聯時，電流量程從50A 擴展至100A。 當兩個單元串聯時，電壓范圍從40V 擴 展至80V。內置智能特性使多個單元可 作為單臺儀器進行尋址，簡化了測試， 由此形成業內最佳的動態范圍(100A 至 1pA)。這種能力確保用戶可測試各種各 樣的功率半導體和其他器件。

高達50A (2 個單元可達100A)的精密測量確 保更完善和準確的特性分析。

1μV 測量分辨率和高達50A (2 個單元可達 100A)的電流源輸出確保低電平Rds 測量，支 持新一代器件。

2600A 系列儀器的標準能力

每款2651A 均具備其他2600A 系列儀器 提供的全部特性和能力，包括：

? 既可作為臺式I-V 特性分析工具，又可 作為多通道I-V 測試系統的組成部分。
? 無需編程或安裝，TSP Express 軟件 即可快速、簡便地執行常見的I-V 測試。
? ACS 基本版軟件，用于半導體元器件 特性分析(選件)。ACS 基本版軟件現 在具備一種Trace 模式，用于產生一 套特性曲線。
? 吉時利的TSP?(測試腳本處理器)軟件， 能夠創建用戶自定義測試腳本，實現 自動化程度更高的測試，并且支持創 建編程序列，使儀器在沒有PC 直接控 制的情況下異步工作。
? 多臺2600A 系列儀器連接在一個系統 中，實現并行測試和精密定時。
? 符合LXI class C 標準。
? 14 位I/O 線，與探針臺、元件裝卸裝 置或其他自動化工具直接交互。
? USB 端口，利用USB 存儲裝置實現更 大的數據和程序存儲空間。

簡明技術指標

電壓準確度

其他源技術指標

噪聲(10Hz–20MHz)：<100mV 峰-峰值(典型 值)，<30mV RMS (典型值)。
過沖：電壓：<±(0.1% + 10mV)(典型值)。
電流：<±0.1%(典型值)。
遠端檢測工作范圍：
HI 和SENSE HI 之間的最大電壓 = 3V。
LO 和SENSE LO 之間的最大電壓 = 3V。
電壓源輸出建立時間：<50μs 最佳量程。
電流源輸出建立時間：<80μs 最佳量程。
每路源引線的最大阻抗：最大阻抗受限于遠端
檢測工作范圍的3V 壓降。
最大電阻 = 3V/源電流值(A)。
3V = L di/dt。

其他測量技術指標

最大負載阻抗：
常規模式：10nF(典型值)，3μH(典型值)。
大電容模式：50μF(典型值)，3μH(典型值)。
測量輸入阻抗：>10GΩ。
共模電壓：250 VDC。
接觸檢查：內置。

功率技術指標

最大輸出功率和源/阱限值：

電流和電壓量程擴展：兩臺2651A 可通過串聯或并聯擴展某些應用下的工作量程和功率性能。請參見網站www.tek.com.cn 的應用指南。

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有源負載操作：注意：當2651A 配合另一臺系統源表儀器或其他任何有源負載工作時，需要將2651A 的輸出關閉 模式設置為“OUTPUT_ACTIVE_LOAD”。更多詳細信息請參考2651A 的參考手冊。

脈沖技術指標

最小可編程脈寬：100μs。 脈寬編程分辨率：1μs。 從脈沖起點至關閉時間起點測得：

最小脈沖上升時間：

占空比：1%–100%

測量速度技術指標

最大掃描速率(操作/秒)，60Hz (50Hz)：

最大單次測量速率(操作/秒)，60Hz (50Hz)：

最大測量量程變化：143 μs
最大源量程變化：2.5 ms
最大源功能量程變化：1.0 ms

高速ADC 脈沖串測量速率：

觸發和同步技術指標

觸發：觸發輸入至觸發輸出：0.5μs，典型值。
同步：單或多節點同步源變化：<0.5μs，典型值。

編程

測試腳本編輯器(TSB)：集成開發環境，用于創建、運行和管理TSP 腳本。
TSP Express(嵌入式)：無需編程或安裝，即可快速、簡便地執行常見的IV 測試。
其他軟件接口：TSP Express(嵌入式)、Direct GPIB/VISA、Read/Write， 利用VB、VC/C++、VC#、LabVIEW、LabWindows/CVI 等讀/寫。

系統擴展

利用TSP-Link 擴展接口，使支持TSP 的儀器之間能夠進行觸發和通信。

通用技術指標

USB：USB 2.1 主機控制器，支持外部數據存儲。
接觸檢查：1ms 最小測量時間；5%基本準確度。
PC 接口：IEEE-488.1 和.2；LXI Class C Ethernet；RS-232。
數字I/O 接口：輸入/輸出引腳：14 位 I/O。最大5.25V。
電源：100 V 至250 VAC，50 Hz – 60 Hz(自動檢測)，最大550 VA
制冷：強制風冷。側面和頂部吸入，后背板排出。
EMC：符合歐盟EMC 指令。
安全：UL 認證，符合UL61010-1:2004 標準符合歐盟低電壓指令。
質保：1 年。
尺寸：89mm 高× 435mm 寬× 549mm 深(3.5 in × 17.1 in × 21.6 in)。臺式配置(含把 手和支腳)：104mm 高× 483mm 寬× 620mm 深(4.1 in × 19 in × 24.4 in)
重量：9.98kg (22 lbs).
環境：僅限室內使用。
校準周期：1 年。

2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元（SMU），具有迄今為止最高的功率、 精度、速度、靈活性和易用性，能夠大大提高研發、生產測試和可靠性環境的測試效 率。2657A是專門針對高壓電子和功率半導體器件的特征分析與測試而設計的，例如 二極管、FET和IGBT，以及其它一些需要高電壓、快速響應和精確測量電壓和電流的元 件和材料。2657A是吉時利功率半導體特征分析和測試解決方案的2600A系列產品，具 有業界最高的功率和最佳的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業界最 強大的參數式特征分析軟件平臺，能夠隨著用戶應用的發展進行升級。

2657A與其它2600A系列數字源表一樣，具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負載， 并配置了精密電壓和電流計。它可以用作：

? 半導體特征分析儀
? 電壓或電流波形發生器
? 電壓或電流脈沖發生器
? 支持電壓和電流讀回的精密電源
? 真電流源
? 數字萬用表（DCV、DCI、歐姆 和六位半分辨率電源）
? 精密電子負載

2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源

主要特性：

? 提供或吸收高達180W的直流或脈沖電 源（±3000V@20mA，±1500V@120mA）
? 1fA低電流分辨率
? 用于高精度和高速瞬態捕獲的雙22位 精度ADC和每點雙18位1μs數字轉換器
? 易于與其它2600A數字源表進行系統集 成的全TSP?兼容能力
? 單臺儀器內集成了精密電源、電流 源、DMM、任意波形發生器、電壓或電 流脈沖發生器、電子18位負載和觸發 控制器

? 內含TSP? Express特征分析軟 件、LabVIEW ?驅動和吉時利的Test Script Builder軟件開發環

典型應用：

? 功率半導體器件特征分析與測試
? GaN、SiC和其它一些復合材料與器件 的特征分析
? 高達3kV的擊穿與漏流測試
? 亞毫秒瞬態特征分析

兩種測量模式：數字式或積分式 利用2657A的兩種測量模式，可以對器件的瞬態和穩態特性進行精確的特征分析，包括快 速改變熱效應。每種模式是由其獨立的模數（A/D）轉換器決定的。

數字式測量模式能夠實現高達1μs的采樣速度。利用其雙18位數字轉換器能夠同時捕獲 電壓和電流瞬態。在積分式測量模式下，利用其雙22位積分式模數轉換器能夠實現更精 確的電壓與電流測量。每種測量模式都使用兩個A/D轉換器，一個用于電流，另一個用于 電壓，兩個轉換器同時工作可以實現精確的電源讀回，且不影響測試產能。

雙高速A/D轉換器能夠實現最快每點1μs的采樣速度，支持電壓和電流的全同時特征分析。

擴展功能

通過TSP-Link?技術，2657A能夠與其它2600A系列儀器連接在一起，構成更大的具有最高 32個節點的集成式系統。內置的500ns觸發控制器能夠確保精確定時與緊密通道同步功 能。利用完全隔離且獨立的數字源表通道可以進行真正的每pin腳SMU測試。

高功率器件測試夾具

8010高功率器件測試夾具能夠為高達3000V或100A下帶封裝的高功率器件的測試提供安全和 方便的連接。8010提供的連接支持一個高壓數字源表（2657A）、一個或兩個高電流數字源表 （2651A）、三個低功率數字源表（其它2600A系列或4200-SCS SMU）。利用這一功能，就可以 安全而準確地對雙端（二極管）、三端（晶體管）甚至四端或五端器件進行特征分析。8010具 有全互鎖功能最多可支持六臺數字源表。8010集成了保護電路，能夠保護低壓數字源表免受 2657A輸出高壓造成的器件故障。8010內含高電流（100A）和高電壓（3000V）測試測試接口。還 有可選的各種備用測試接口，包括TO-247、TO-220、軸心線，以及可以構建自定義接口的一個 空接口模塊。除了標準的香蕉跳線，8010還具有背板指示器和熱探針端口，可簡化系統集成。

2600A系列儀器的標準功能

2每臺2657A都具有其它2600A系列數字源 表所具有的特性和功能：
? 使用靈活，可用作臺式I-V特征 分析工具，也可以作為多通道I-V 測試系統的組成模塊；
? TSP Express軟件，無需編程或安 裝其它軟件即可快速而方便地執 行常用的I-V測試。
? 用于半導體元件特征分析的ACS Basic Edition軟件（可選）。ACS Basic Edition現在提供了“Trace” 模式，可產生一套特征曲線。
? 吉時利的Test Script Processor (TSP)技術支持創建并運行自定義 的用戶測試腳本，用于實現高速自 動化測試，以及創建使測試儀能夠 在沒有PC直接控制的情況下進行 異步操作的程序序列。
? 當系統中多臺2600A系列儀器 連接在一起時，具有并行測試 執行和精確定時功能。 ? 兼容LXI Class C。
? 14位數字I/O線，用于直接連接探針 臺、元件機械手或其它自動化工具。
? USB端口，用于通過USB存儲器保存額 外的數據和測試程序。

2657A主要技術指標1

電流精度指標4

1.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.15 × 精度指標) °C。

2. 對于NPLC設置<1因增加了誤差項而降低了精度指標。對于阻性負載使用下表適當增加量程項的百分比。

3.18位ADC。間隔1μs的1000個樣本均值。

4.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.35 × 精度指標) °C

其它特性

典型電壓源噪聲：量程的0.005%。
典型電流源噪聲：量程的0.08%。
典型電壓源設置：<1ms到200V，<7ms到3000V。
典型電流源設置：<5ms到120MA，<200ms到1μA。
相關指標如有改變恕不另行通知。

觸發與同步指標

觸發：TRIGGER IN到TRIGGER OUT：0.5μs，典型值。
同步：單節點或多節點同步源變化：<0.5μs，典型值。

編程

TEST SCRIPT BUILDER: 用于編輯、運行和管理TSP腳本的集成式開發環境。
TSP EXPRESS （內嵌的）：無需編程或安裝其它軟件即可使用戶快速而方便地執行常見I-V測試的工具。
軟件接口：TSP EXPRESS（內嵌的）、DIRECT GPIB/VISA、支持VB的讀/寫、VC/C++、 VC#、LABVIEW、TESTPOINT、LABWINDOWS/CVI等。

系統擴展

支持TSP功能的儀器通過TSP-Link擴展接口可以相互觸發和通信。如下圖所示：

2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源

一般性指標

USB：USB 2.1主控制器，支持外部數據存儲。
接觸檢查：± 50Ω
PC接口：IEEE-488.1和.2；LXI CLASS C以太網；RS-232。
數字I/O接口：輸入/輸出腳：14個漏極開路I/O位。最大5.25V。
電源：100V到250V交流，50HZ–60HZ（自動檢測），最大功率550VA。
冷卻：強迫風冷。側面和頂部吸氣，后部排氣。
EMC：符合歐盟EMC指令。
安全性：ETL列出（待確認）。符合歐盟低壓指令。
質保期：1年。
尺寸：高89mm × 寬435mm × 深549mm（3.5in × 17.1in × 21.6in）。測試臺配置（帶手柄和腿）：高104mm × 寬483mm × 深620mm（4.1in × 19in × 24.4in）。
重量：9.98KG（22lbs）。
使用環境：僅適合室內使用。
校準周期：一年。

泰克Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter? SMU 儀器